Технические характеристики
MBE-500 в основном использует цилиндрический корпус из нержавеющей стали 316, обработанный аргонно-дуговой сваркой, фланец на верхней части корпуса имеет размер DN400CF, оснащён более чем 10 источниками испарения. Система оснащена несколькими фланцевыми отверстиями, установка фланцев совместима с такими методами измерений, как RGA, RHEED, BFM и др. Модульная конструкция, высокая многофункциональность оборудования, мгновенное управляемое заслонкой луча, позволяет получать высококачественные плёнки толщиной 2 дюйма.
Особенности продукта:
- Гибкая конфигурация различных типов источников испарения, обеспечивающая высококачественный эпитаксиальный рост на подложках;
- Широкая область применения, совместимость с ростом плёнок III-V группы, оксидов и нитридов;
- Возможность интеграции с кластерной системой подачи образцов для полностью автоматической передачи подложек размером 2 дюйма.
Технические параметры
|
MBE 500 |
Описание модуля |
Параметры конфигурации |
|
|
Камера для выращивания |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Размер полости |
400 мм I.D |
||
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-10 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 700 л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик ионов + датчик Пирани |
||
|
Холодный экран с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Ионный насос |
Опционально |
||
|
Криогенный насос |
Опционально |
||
|
Держатель образца |
Размер выборки |
2 дюйма |
|
|
Способ нагрева подложки |
Лучистое отопление |
||
|
Температура нагревателя подложки |
Комнатная температура-1200К |
||
|
Электроннолучевой нагрев |
Опционально |
||
|
Нагрев постоянным током |
Опционально |
||
|
Холодильный модуль с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Компоненты |
Конфигурация источника испарения |
6xDN40CF, 4xDN63CF, 1xDN100CF |
|
|
Перегородка с независимым источником испарения |
Пневматический привод |
||
|
БФМ |
Стандартная конфигурация |
||
|
РИД |
15 кэВ-30 кэВ |
||
|
Источник ионов |
Опционально |
||
|
РГА |
Опционально |
||
|
|
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-8 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 80Л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона |
||
|
Компоненты |
Образец парковочной платформы |
3 станции |
|
|
Системная интеграция и контроль |
Программное обеспечение GUIDE |
Стандартная конфигурация |
|
|
Система выпечки |
Стандартная конфигурация |
||
|
Системный кронштейн |
Стандартная конфигурация |
||
|
Система рекуперации загрязняющих веществ |
Опционально |
||
|
Вакуумная система освещения |
Опционально |
||
|
Плазменная очистка |
Опционально |
||
|
Тележка-насос |
Опционально |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система молекулярно-лучевой эпитаксии MBE-500 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support