Технические характеристики
MBE-400 в основном использует цилиндрический корпус из нержавеющей стали 316, обработанный аргонно-дуговой сваркой, фланец на верхней части корпуса размером DN350CF, с возможностью установки до 10 источников испарения. Система оснащена несколькими фланцевыми отверстиями, установка фланцев совместима с методами измерений, такими как RGA, RHEED, BFM. Заслонка мгновенно управляется, что позволяет получать высококачественные плёнки толщиной 2 дюйма.
Особенности продукта:
- Дифференциальная конструкция источников испарения позволяет осаждать оксидные материалы при высоком парциальном давлении кислорода или озона;
- Заполнение и замена источников испарения возможны без нарушения вакуума в камере роста;
- В качестве источника кислорода можно использовать высокочистую озоновую установку или радиочастотный плазменный источник.
Технические параметры
|
MBE 400 |
Описание модуля |
Параметры конфигурации |
|
|
Камера для выращивания |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Размер полости |
300 мм I.D |
||
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-10 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 700 л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик ионов + датчик Пирани |
||
|
Холодный экран с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Ионный насос |
Опционально |
||
|
Криогенный насос |
Опционально |
||
|
Держатель образца |
Максимальный размер выборки |
2 дюйма |
|
|
Способ нагрева подложки |
Лучистое отопление |
||
|
Температура нагревателя подложки |
Комнатная температура-1200К |
||
|
Электронно- лучевой нагрев |
Опционально |
||
|
Способ нагрева подложки |
Опционально |
||
|
Холодильный модуль с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Компоненты |
Конфигурация источника испарения |
6xDN40CF, 2xDN63CF |
|
|
Перегородка с независимым источником испарения |
Пневматический привод |
||
|
QCM |
Стандартная конфигурация |
||
|
РИД |
15 кэВ-30 кэВ |
||
|
Источник ионов |
Опционально |
||
|
РГА |
Опционально |
||
|
|
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-8 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 80Л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона |
||
|
Компоненты |
Образец парковочной платформы |
3 станции |
|
|
Системная интеграция и контроль |
Программное обеспечение GUIDE |
Стандартная конфигурация |
|
|
Система выпечки |
Стандартная конфигурация |
||
|
Системный кронштейн |
Стандартная конфигурация |
||
|
Вакуумная система освещения |
Опционально |
||
|
Плазменная очистка |
Опционально |
||
|
ПЗС -камера |
Опционально |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система молекулярно-лучевой эпитаксии MBE-400 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support