Технические характеристики
Sphere 300 представляет собой сферический корпус из нержавеющей стали марки 316, изготовленный методом аргонно-дуговой сварки. Диаметр корпуса составляет 300 мм, при этом возможно установка до 5 источников испарения.
Камера роста Sphere 300 оснащена различными фланцевыми соединениями и имеет полный набор функций, включая возможность проведения диагностики с помощью рефлекционной высокоэнергетической электронной дифракции.
Система предназначена для выращивания образцов небольших размеров (совместима с прямоугольными подложками) и идеально подходит для научных исследований, особенно в области получения высококачественных тонких плёнок.
Особенности:
- Небольшая и экономичная система молекулярно-лучевой эпитаксии;
- Может комбинироваться с измерением;
- Может использоваться в качестве системы предварительной обработки для подготовки образцов перед выращиванием или их обработки после завершения процесса роста.
Технические параметры
|
Sphere-300 |
Описание модуля |
Параметры конфигурации |
|
|
Камера для выращивания |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Размер полости |
300 мм I.D |
||
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-10 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 300Л/с +10 м3/ ч механический насос |
||
|
Система измерения вакуума |
Ионный манометр + манометр Пирани |
||
|
Ионный насос |
Опционально |
||
|
Держатель образца |
Размер образца |
Держатель образца флажкового типа |
|
|
Способ нагрева подложки |
Лучистое отопление |
||
|
Температура нагревателя подложки |
Комнатная температура-1200К |
||
|
Электроннолучевой нагрев |
Опционально |
||
|
Нагрев постоянным током |
Опционально |
||
|
Холодильный модуль с жидким азотом |
Опционально |
||
|
Компоненты |
Конфигурация источника испарения |
3xDN40CF, 1xDN100CF |
|
|
Перегородка с независимым источником испарения |
Пневматический привод |
||
|
QCM |
Стандартная конфигурация |
||
|
РИД |
15 кэВ-30 кэВ |
||
|
Источник ионов |
Опционально |
||
|
РГА |
Опционально |
||
|
Сверхпроводящий магнит |
Тип магнита |
Сухое /GM охлаждение |
|
|
Магнитная среда |
Полость комнатной температуры |
||
|
Диаметр полости |
105 мм |
||
|
Напряженность магнитного поля |
±9Т |
||
|
Однородность магнитного поля |
<0.1% |
||
|
Быстрая загрузочная камера |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-8 мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 80Л/с + механический насос 10 м 3/ч |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона |
||
|
Компоненты |
Столик для образцов |
6 или 12 станций |
|
|
Трансферный манипулятор |
CF35/600 мм |
||
|
Манипулятор |
CF35/150 мм |
||
|
Системная интеграция и контроль |
Программное обеспечение GUIDE |
Стандартная конфигурация |
|
|
Система выпечки |
Стандартная конфигурация |
||
|
Системный кронштейн |
Стандартная конфигурация |
||
|
Вакуумная система освещения |
Опционально |
||
|
Плазменная очистка |
Опционально |
||
|
ПЗС -камера |
Опционально |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система молекулярно-лучевой эпитаксии Sphere-300 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support