Оборудование AOI

Параметр

Характеристики

Применение

Автоматический оптический контроль (AOI) полупроводниковых пластин диаметром 4–12 дюймов.

Платформа для пластин

Поддержка пластин 4–12 дюймов.

Высота направляющих

0.6–3 мм (опционально <0.6 мм).

Высота оборудования

900 мм (±20 мм).

Расстояние между направляющими

Направление слева направо.

Габариты (Ш×Г×В)

2210 × 1600 × 1750 мм.

Размер кассеты

Поддержка 300×300×180 мм (возможна индивидуальная настройка под другие размеры).

Вес оборудования

1600 кг.

Система камер

Высокоскоростные промышленные цифровые камеры с многокоординатным управлением.

Система освещения

Многоканальные LED-источники высокой плотности.

Разрешение

2.75 мм (может корректироваться в зависимости от модели продукта и требований к скорости проверки).

Обработка дефектов

Контроль внешних дефектов пластин с выводом данных в E-Map. Примеры дефектов:
a. Сколы на поверхности >200 мкм;
b. Сколы на обратной стороне >200 мкм;
c. Смещение (отклонение от центра);
d. Трещины чипов >5 мкм;
e. Дефекты поверхности (загрязнения, коррозия >5 мкм);
f. Царапины на чипах;
g. Отсутствие чипа.

Скорость проверки

60 сек/пластина (для 4 дюймов, ориентировочно).

Точность

Обнаружение дефектов ≥99.5%; ложные срабатывания ≤0.5%.

Питание

220В, 50/60 Гц, 3.0 кВА.

Давление воздуха

0.8 МПа.

Условия эксплуатации

Температура: 5–40°C; влажность: 25–80%; без конденсата.

Интерфейсы связи

Стандартные: SMBM, TCP/IP, SECS/GEM.

Автоподатчик

Driton.

Функции

1. Автоматическая подача, проверка и приемка пластин;
2. Сбор и передача данных в систему MBS завода;
3. Динамический контроль на платформе с поддержкой ручного и автоматического анализа дефектов;
4. Одновременная загрузка до 3 кассет (75 пластин для 4 дюймов);
5. Сканирование штрих-кодов (включая QR-коды);
6. SPC-анализ данных в реальном времени с передачей в MBS;
7. Интеграция с другими системами завода;
8. ПО для повторной проверки дефектов (NOS);
9. Логирование аварийных событий и автоматическое отключение при неисправностях.

Требования к ПО

1. ПО для штрих-кодов (идентификация, печать, статистика);
2. SPC-система с мониторингом, анализом отчетов и отслеживанием дефектов.

Техподдержка

1. Бесплатные обновления;
2. Выезд инженера в течение 24 часов при критических неисправностях;
3. Разработка индивидуальных решений;
4. Пусконаладка и сопровождение в течение 2 недель;
5. Гарантия 1 год.

Модель

Стоимость, доллары США

Оборудование AOI

По запросу