Технические характеристики
- Поддержка различных протоколов связи SECS / Gem и т.д.;
- Поддержка совместимости с коробками для раздачи пластин, соответствующими стандартам SEMI;
- Высокая скорость и высокая стабильность;
- Совместимость с Si / SiC；
Технические параметры
|
Основные характеристики |
Автоматическая сортировка пластин (может быть оснащена системой позиционирования и считывания кода) / Устройство для сортировки пластин (выравниватель или считыватель идентификаторов) |
|
Размер пластины |
150/200 мм |
|
Тип кассеты |
Открытая кассета или FOUP |
|
Выход |
> 300 Вт / ч |
|
Функция калибровки |
Опционально |
|
Функция считывания кода (OCR) |
Опционально |
|
Функция переворота |
Опционально |
|
Чистый блок |
Класс 1 |
|
Потребляемая мощность |
Переменный ток 220 В, 50/60 Гц, 20A, однофазный (воздушная трубка диаметром 8 мм) |
|
Сжатый воздух |
0,4 ~ 0,6 Мпа; 90Л / мин (воздушная трубка 8 мм) |
|
Вакуум |
-80 ~-70 кПа; 25Л/мин (воздушная трубка диаметром 6 мм) |
|
Вес |
~500-750 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
WST200 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support