Технические характеристики
- Поддержка совместимости с коробками для раздачи пластин, соответствующими стандартам SEMI;
- Высокая скорость и стабильность работы;
- Сверхчистота;
- Поддержка нескольких протоколов связи SECS / Gem и т.д.；
Технические параметры
|
Основные характеристики |
Автоматическая сортировка пластин (может быть оснащена системой позиционирования и считывания кода) |
|
Размер пластины |
300 мм |
|
Тип кассеты |
Открытая кассета или FOUP |
|
Выход |
> 300 Вт / ч |
|
Функция калибровки (Выравниватель) |
Опционально |
|
Функция считывания кода (OCR) |
Опционально |
|
Функция переворота |
Опционально |
|
Чистый блок |
<Класс 1(Параметры) |
|
Потребляемая мощность |
Переменный ток 220 В, 50/60 Гц, 20A, однофазный (воздушная трубка диаметром 8 мм) |
|
Сжатый воздух |
0,4 ~ 0,6 Мпа; 90Л / мин (воздушная трубка φ8 мм) |
|
Вакуум |
-80 ~-70 кПа; 25Л/мин (воздушная трубка диаметром 6 мм) |
|
Вес |
~500-900 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
WST300 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support