Технические характеристики
Системы измерения сопротивления листа нового поколения Semilab сочетают четырехточечный зонд (4PP) с бесконтактными методами измерения на различных платформах - от экономичной платформы с низким уровнем автоматизации (WT) до полностью совместимых со стандартами платформ (RT). В дополнение к более традиционному методу 4PP, бесконтактное измерение может быть применено к BEOL (толщине металлических слоев) с помощью EDDY или к FEOL (мониторингу имплантатов) с помощью JPV.
Особенности и системные спецификации:
- Обработка пластин: Робот длиной до 300 мм
- Проверяемая область: Пластины из цельного листа
- Зонды: 4PP (FEOL & BEOL) , EDDY (BEOL), JPV (FEOL)
- 1-4 постоянных головки 4PP для различных диапазонов и применений, более низкий уровень шума.
- Класс чистых помещений: мини-среда класса 1
|
Спецификация |
РТ-2201 |
РТ-2500 |
РТ-3000 |
|
Размер вафли |
до 200 мм |
150/200 мм или 200/300 мм |
200/300 мм |
|
Параметры загрузки |
2 открытые кассеты длиной до 200 мм |
|
Двойная платформа FOUP |
|
Программное обеспечение для автоматизации |
Опция связи SECS / GEM |
Опция связи SECS / GEM |
Полностью автоматизированное программное обеспечение |
|
Автоматизация производства |
Недоступно |
Недоступно, предназначено для фабрик среднего класса |
Да, специально разработан для крупногабаритных объектов с полной автоматизацией производства, опция OHT |
Все перечисленные ниже методы измерений можно интегрировать в один картографический прибор:
- Вихретоковый метод измерения сопротивления тонких слоев листа
- Измерение фотонапряжения в соединении для отображения сопротивления листа
- Мониторинг ионных Имплантатов
Линейка продуктов RT разработана в соответствии со стандартами SEMI.
|
Модель |
Стоимость |
|
RT-2201, RT-2500, RT-3000 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support