Метрологические системы серии порозиметров PS-2000, PS-2500

Технические характеристики

Метрологические системы серии порозиметров Semilab (PS) используют метод эллипсометрической порометрии (EP) для обеспечения надежных и точных измерений толщины, показателя преломления, пористости, распределения пор по размерам и модуля Юнга пористых тонких пленок, таких как сверхнизкий K, пористый кремний, слои наночастиц, оксиды металлов или целостность барьерных слоев... Сочетая эксперименты по адсорбции растворителя в высоковакуумной камере с технологией Semilab Spectroscopic Ellipsometry (SE), PS systems образуют комплексное метрологическое решение, помогающее нашим заказчикам разрабатывать, квалифицировать и контролировать текущие и будущие процессы, и особенно решать проблемы интеграции пористых материалов с низким содержанием K.

Семейство продуктов PS обеспечивает различные степени автоматизации и возможности определения размеров пластин - от купонов до 450-миллиметровых пластин. Его уникальная технология позволяет определять структурные характеристики пористых тонких пленок с CVD- и формовочным покрытием без царапания образца или подготовки.

Дополнительная камера с подогревом, доступная в выбранных моделях диаметром 300 мм, обеспечивает расширенные возможности измерения, такие как отжиг пленки или одноосный коэффициент теплового расширения (CTE), помогая производителям микросхем выявлять технологические проблемы, которые могут привести к разрушению пленки или образованию трещин.

В нашей полностью автоматизированной модели PS-2500 станция предварительного нагрева / охлаждения позволяет удалять остатки органических материалов и влагу из пор до / после измерения, обеспечивая измерение общей доступной пористости и отсутствие остатков растворителя в порах, если требуется дальнейшая обработка. Порт двойной загрузки с OHT доступен в PS-3000.

Конфигурации:

Приборы PS также можно использовать для определения герметизирующего слоя как пластин с рисунком, так и сплошных пластин: прибор обнаруживает диффузию растворителя через герметизирующий слой, что приводит к изменению показателя преломления, измеряемого методом спектроскопической эллипсометрии. Наконец, любой продукт PS также является традиционным спектроскопическим эллипсометром, который может удовлетворить потребности в определении характеристик непористых тонких пленок.

Технология эллипсометрической порометрии (EP) была запатентована IMEC и лицензирована исключительно Semilab.