Система бесконтактной метрологии подвижности и сопротивления листу MBM-2201

Технические характеристики

MBM-2201 является идеальным выбором для характеристики проводящих свойств сложных полупроводников по всей поверхности образца. Он обеспечивает неразрушающий и бесконтактный метод, который характеризует подвижность на основе радиочастотного отражения и постоянного магнита; и сопротивление листа с использованием вихревого зонда для измерения образцов размером до 200 мм.

Улучшенные диапазоны измерений

• Широкие диапазоны измерений с превосходной повторяемостью

Платформа

• Автоматическая загрузка образцов размером 4 "-5" или 6"-8",
• Двойная загрузочная станция для автоматической загрузки образцов из открытых кассет
• Ручная загрузка 3-дюймовых образцов
• этап картографирования 200 мм
• Предназначен для чистых помещений класса ISO 1 без FFU
• Программное обеспечение на базе SAM2, совместимое со стандартом SEMI®

Опции

• Возможность связи SECS / GEM
• Ионизатор
• Возможность распознавания для прозрачных образцов
• Пластины для настройки калибровки