Спектрометр переходного процесса глубокого уровня DLS-1100

Технические характеристики

Спектрометр переходного процесса глубокого уровня DLS-1100 обеспечивает метрологию с высочайшей чувствительностью для определения характеристик примесей и дефектов (известных как ловушки) для рынка производителей пластин и исследовательских институтов.

Новые технологии - криостат с низкой вибрацией и улучшенным отношением сигнал/ шум, более точный регулятор температуры и улучшенное программное обеспечение для оценки - позволяют автоматически регулировать экспериментальные параметры и автоматически оценивать концентрацию ловушек, энергию активации и сечение захвата на образцах полупроводников.

Области применения и режимы измерений

Идентификация электрически активных дефектов и полный диапазон режимов измерения, включая:

• Проверка качества образцов методом I-V, C-V
• Измерения распределения плотности состояния интерфейса MOS
• Оцифровка переходного процесса емкости и оценка для дальнейшего анализа с помощью регистратора переходных процессов
• Опция DLS по току (I-DLS) для образцов с высокой проводимостью
• Измерение переходных процессов емкости с помощью встроенного интегратора для
  • температурного сканирования
  • частотного сканирования
  • глубинного профилирования
  • поперечного сечения захвата

Криостаты

Система DLS-1100 может комбинироваться с различными криостатами, способными проводить измерения в различных температурных диапазонах:

• Криостатная камера с низкой вибрацией 30K-400K (опционально до 800K)
• He-криостат с замкнутым циклом от 30 К до 325 К
• Криостат с жидким азотом в ванне (77K – 450K)
• Автоматический криостат LN2 с регулируемым расходом LN2 от 80 до 550 К или от 80 до 800 К

Преимущества

• Высочайшая чувствительность для обнаружения следов загрязняющих веществ: вплоть до 5x107 атомов/см3
• Более точное измерение температуры (<1 К) с помощью до 10 датчиков
• Полностью автоматизированные измерения, возможность оцифровки переходных процессов емкости и численной оценки благодаря усовершенствованному программному обеспечению для оценки