Спектрометр переходных процессов глубокого уровня DLS-1000

Технические характеристики

DLS-1000 - это усовершенствованная высокочувствительная система. Она в восемь раз чувствительнее своей предшественницы DLS-83D.

DLS-1000 предлагает полностью автоматический режим измерения, а также обеспечивает полную интерпретацию измеренных данных, включая идентификацию примесей и определение концентрации, без какого-либо взаимодействия с пользователем.

Спектроскопия переходных процессов на глубоком уровне (DLTS) - лучший метод для мониторинга и характеристики глубоких уровней, вызванных намеренно или непреднамеренно введенными примесями и дефектами в полупроводниковых материалах и комплектных устройствах. Это чрезвычайно универсальный метод для определения всех параметров, связанных с глубокими ловушками, включая уровень энергии, поперечное сечение захвата и распределение концентрации. Он позволяет идентифицировать примеси и способен обнаруживать концентрации загрязнений ниже 2*108 атомов/см3.

Основные характеристики

• Высочайшая чувствительность (2*108 атомов/см3) для определения следовых уровней загрязнения
• Подключение к широкому спектру криостатов
• Управляются цифровыми и аналоговыми настройками для обеспечения реальной простоты эксплуатации
• Проверка качества образцов методом I-V, C-V
• Полное компьютерное управление с обширной программной поддержкой, полная библиотечная база данных для точной идентификации загрязнений

Широкий диапазон режимов измерения:

• Температурное сканирование
• Частотное сканирование
• Профилирование по глубине
• Определение характеристик C-V
• Измерение поперечного сечения захвата
• Оптическая инжекция
• Измерения переходных процессов электропроводности