Полуавтоматическое оптическое оборудование для обнаружения дефектов серии SOI600

Продукты серии SOI600 представляют собой полуавтоматическое оптическое оборудование для обнаружения дефектов, которое выполняет визуальный контроль дефектов на поверхности пластины, макро- и микрофотографирование, анализ дефектов и т.д. Для повышения производительности процесса. Продукты SOI600 в основном используются в технологических сегментах ADI, AEI, API и OQC предыдущей производственной линии микросхем.

Технические характеристики

• Богатая система освещения изображений

Имеет богатую конфигурацию освещения изображения: камера объектива содержит 5 слотов для карт памяти и может быть предварительно установлена с объективами с увеличением, таким как 1X, 2X, 3.5X, 5X, 10X, 20X, 50X или 100X. Разрешение пикселей может достигать 27.5 нм, а освещение светлого и темного полей, темного поля и флуоресцентного поля можно переключать. Регулируемая интенсивность освещения и т.д.

• Многоугловая камера

Он поддерживает макро-многоугловое переворачивание и вращение пластин, а также может делать снимки дефектов передней и обратной сторон и краев пластин и отображать их в динамике высокой четкости.

• Высокая урожайность и низкая стоимость

Эффективная полностью автоматическая система передачи пластин с платформой шагового перемещения с большим ходом, высокой точностью и высокой скоростью эффективно повышает эффективность обнаружения и снижает затраты пользователя на использование.

• Поддержка нескольких материальных интерфейсов

Он может поддерживать 6-дюймовые, 8-дюймовые и 12-дюймовые пластины со стандартной насечкой, а также поддерживать различные интерфейсы материалов, такие как SMIF, открытая кассета, FOUP и FOSB. Он поддерживает стыковку крана OHT и оснащен предохранительной решеткой.

• Дружественный программный интерфейс

Программное обеспечение для обнаружения, разработанное на базе платформы Linux, удобно в эксплуатации и дружелюбно к взаимодействию. Поддержка удаленного автоматизированного управления производством на заводах EAP, поддержка макро- и микрофотографирования, анализ импорта файлов Klarf, анализ дефектов, классификация, сортировка и т.д.