Односторонний полировальный станок TSP-910

Оборудование может осуществлять одновременную обработку двухосных и четырехосных, прост в эксплуатации, надежную совместимость, высокую стабильность, хорошую коррозионную стойкость, а цилиндр полировальной головки находится под давлением и активно вращается. Может обеспечивать высокоскоростную полировку под высоким давлением с использованием различных полировальных подушек и полирующих жидкостей, подходящих для полировки различных полупроводниковых материалов.  

Технические характеристики

• Точный контроль давления в цилиндре;
• Полировальная головка с активным приводом;
• Управление термостатом;
• Оптимизация процесса;
• Достаточные производственные мощности;
• Функция очистки.

Технические параметры