Технические характеристики
- Поддерживает принципы измельчения как с глубокой, так и с медленной подачей (ползучесть), а также с осевой подачей (внутренняя подача);
- Дополнительная автоматическая система загрузки и разгрузки;
- Преимущества применения в промышленности GPP очевидны;
- Высокая эффективность обработки, производительность кремниевых пластин для 4-дюймовых GPP может достигать 360 шт / ч;
- Компактная конструкция, занимающая площадь всего 1,01 м, с учетом миниатюризации и высокого коэффициента производительности.
Технические параметры
|
Максимальный размер обрабатываемого объекта |
Φ156 Мм |
|
|
Шпиндель |
Количество шпинделей |
1 |
|
Выходная мощность |
7,5 кВт |
|
|
Скорость вращения |
1000-6000 об/мин |
|
|
Ось Z |
Ход |
120 мм |
|
Скорость подачи |
0,00001 ~0,08 мм/с |
|
|
Максимальная скорость возврата |
50 мм/с |
|
|
Разрешение |
0.1 вечера |
|
|
Количество опорных столов |
4 (настраиваемый) |
|
|
Скорость вращения стола |
0-20 об/мин |
|
|
Точность обработки |
Отклонение толщины внутренней пластины |
<5 мкм |
|
Отклонение толщины между пластинами |
<±5 мкм |
|
|
Шероховатость поверхности Ra |
<0,2 мкм (шлифовальный круг 2000 #, Si) |
|
|
Измерительный система |
Диапазон измерения |
Не применимо |
|
Разрешение |
||
|
Повторяемость |
||
|
Другие технические характеристики |
Габариты |
750ммх1350ммх1750мм |
|
Вес оборудования |
≈2000 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Автоматическая прореживающая машина WG-6110 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support