Полностью автоматическая передача пластин, может использоваться для 12-дюймовых пластин для PA, считывателя идентификаторов, макро и микроинспекции, загрузки и разгрузки оборудования для производства полупроводников, взаимного обмена FOSB, FOUP и т.д.
Технические параметры
|
Размеры |
L2650 x W1650 x H2200 мм |
|
Скорость передачи данных оборудования |
99% |
|
Точность передачи плёнки |
0,05 мм |
|
Точность позиционирования |
Точность выравнивания 0,1 мм Точность угла наклона 0,5 градуса |
|
Точность обнаружения |
0,01 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Система для проверки 8-12-дюймовых пластин (перед резкой) |
По запросу |
JoomShopping Download & Support