Полностью автоматическая передача пластин, может использоваться для сортировки 12-дюймовых пластин, объединения, слияния, загрузки и разгрузки оборудования для производства полупроводников, взаимного обмена FOSB, FOUP и т.д.
Технические характеристики
- Система для обработки пластин с двумя рычагами.;
- Можно использовать полустандартный грузовой порт.;
- Бесконтактный предварительный элайнер.;
- Считыватель идентификатора пластины (опционально).;
- Модульная конструкция, которая позволяет реализовать совместное использование нескольких процессов.
Технические параметры
|
Модель |
TS-1200 |
|
Режим работы |
Автоматический/полуавтоматический/механический |
|
Размеры |
L1700 x W1400 x H1750 мм |
|
Вес |
600 кг |
|
Материал |
Алюминий/сталь |
|
Экологические требования |
Температура: 22℃ Влажность: 55% |
|
Подача воздуха |
6-8кг/см2 |
|
Предварительный выравниватель |
Бесконтактный |
|
Центрирование |
0,05 мм |
|
Время выравнивания |
5 секунд |
|
Источник энергии |
220Вт/50Гц |
|
Источник подаваемого воздуха |
-80 кПа |
|
Аварийный выключатель |
Есть |
|
Пылезащитное устройство |
Для обеспечения чистоты оборудования в верхней части оборудования может быть установлен высокоэффективный воздушный фильтр |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
TS-1200 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support