Honghu Ivory150/200

Технические характеристики

Honghu Ivory150/200 — это оборудование для ICP-травления, независимо спроектированное и разработанное компанией Shanghai Bangxin для технологии обработки сложных полупроводников размером 6/8 дюйма: оно построено на многокамерной кластерной вакуумной переносной платформе Honghu, независимо разработанной Bangxin, которая может обеспечивать серийную или параллельная обработка; В системе используется оптимизированная конструкция катушки ICP, обеспечивающая более высокую скорость травления и лучшую однородность; в ней применяется усовершенствованное покрытие поверхности для увеличения срока службы деталей, стабилизации характеристик частиц и снижения производственных затрат.

• Процесс травления сложного полупроводника GaN/ SiC.
• Процесс обратного травления вольфрама сложного полупроводника.