Травильный станок

Модель оборудования: ET12-XS2E2S1A

Области применения: составные полупроводники, силовые устройства, МЭМС, усовершенствованные корпуса, ВЧ интегральные схемы

Технические характеристики

1. Использование поворотного рычага с контролируемым положением и скоростью для распыления химической жидкости может эффективно улучшить однородность травления.
2. Многослойная конструкция реакционной камеры позволяет распылять различные химические жидкости в одной и той же полости, а также эффективно восстанавливать и сохранять химические жидкости.
3. Управление штабелированием, небольшая занимаемая площадь, можно настроить до 4 травильных агрегатов.

Технические параметры