Травильный станок ELEDE® 380F PSS

Травильный станок ELEDE® 380F — это плазменный аппарат для сухого травления, используемый в процессе травления подложек светодиодов. Он оснащен одинарной или двойной реакционной камерой лоткового типа и полностью автоматическим режимом работы из нескольких частей. Оборудование подходит для травления различных подложек Mini LED и Micro LED, включая процессы травления PSS, NPSS и CPSS.

Технические характеристики

• Усовершенствованный планарный генератор плазмы, высокий коэффициент отбора, увеличенное технологическое окно.
• Хорошая морфология боковых стенок и контроль однородности.
• 9 штук 4-дюймовых поддонов, короткое время обработки и большая производственная мощность.
• Профессиональный дизайн технологического комплекта, более длительный срок службы расходных материалов, меньший расход CoO.

Размер пластины: 2, 4, 6 дюймов и специальные размеры.

Применимые материалы: сапфир, оксид кремния и т.д.

Применимый процесс: наноразмерное/графическое травление PSS, травление композитной подложки.

Применимая область применения: полупроводниковое освещение, мини-светодиод.