12-дюймовая машина для травления металлических жестких масок из нитрида титана NMC 612M

12-дюймовая машина для травления металлических жестких масок из нитрида титана NMC 612M - это оборудование для сухого травления металла, используемое в интегральных схемах с длиной волны 40-28 нм. Оно используется для изготовления металлических жестких масок из нитрида титана, травления диэлектриков с высоким значением K, травления вольфрама / титана / тантала и других металлов и их соединений и других процессов.

Технические характеристики

• Расширенные возможности контроля ширины линий, их морфологии и однородности.
• Многозонный регулятор температуры электростатический адсорбционный патрон для улучшения контроля температуры пластин.
• Высокая производственная мощность, стабильный технологический процесс, низкий уровень брака.
• Импульсная плазменная радиочастотная технология может уменьшить повреждения, вызванные плазмой.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: металл.

Применимый процесс: травление TiN HM, травление диэлектриков с высоким значением K, травление W/Ti/Ta и других металлов, и их соединений.

Применимая область применения: интегрированная цепь.