12-дюймовая машина для травления кремния NMC 612C

NMC 612C используется в 12-дюймовом процессе сухого травления и активно используется в производстве интегральных схем, силовых полупроводников и других областях. Он находится в стабильном массовом производстве на стороне клиента уже более десяти лет. Он в основном используется при травлении изоляции неглубоких траншей, травлении ворот, травлении боковых стенок и других процессах. Он имеет богатые методы отладки процесса, высокую однородность травления и стабильность массового производства.

Технические характеристики

• Возможности точного контроля размера и морфологии ключа, а также различные технологии регулировки однородности процесса.
• Обладает способностью к травлению in situ с многослойной пленочной структурой.
• Индивидуальная конфигурация программного обеспечения.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: кремний.

Применимый процесс: травление затвора из поликремния, травление изоляции неглубоких канавок, травление боковых стенок.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник.