Шаговая литографическая машина серии SSB300

Шаговая проекционная литографическая машина серии SSB300 в основном используется в области усовершенствованной литографии подложек размером 2-6 дюймов, которые могут соответствовать требованиям к процессу литографии микро / мини светодиодов, новых составных полупроводниковых устройств и процессов на микрочипах, таких как MEMS.

Технические характеристики

• Высокая урожайность

Модели SSB320 и SSB380 могут обеспечивать большое поле обзора (53,5 × 33 мм) и оснащены высокоскоростной системой передачи, высокоскоростной и высокоточной спортивной платформой и системой освещения с высокой освещенностью для достижения высокой производительности и значительного снижения затрат заказчика на владение.

• Высокое разрешение

Литографические аппараты серии SSB300 обеспечивают различные конфигурации проекционных объективов с разрешением 0,8 ~ 2 мкм и обладают характеристиками большой глубины фокусировки и высокой однородности по ширине линии, что может эффективно повысить выход продукта при крупномасштабном массовом производстве.

• Высокоточная гравировка

Литографические станки серии SSB300 оснащены высокоточной системой выравнивания MVS, высокоточной системой позиционирования обрабатываемого стола и проекционным объективом с низким уровнем искажений для обеспечения высокоточной гравировки. Среди них система выравнивания поддерживает функциональную графическую маркировку и маркировку решеток, а также может быть оснащена функцией обратного выравнивания в инфракрасном или видимом свете для удовлетворения индивидуальных потребностей.

• Высокая технологическая адаптивность

Уникальная технология онлайн-картографирования используется для быстрого и точного подбора формы базовой поверхности, что позволяет эффективно увеличить время обработки. Предусмотрены дополнительные переменные прорези, которые могут разделить маску на несколько областей для экспонирования, снизить затраты на разработку процесса и не увеличивать дополнительные потери стружки при подборе с помощью выравнивателя.