Шаговая литографическая машина серии SSB500

Машина для шаговой проекционной литографии серии SSB500 в основном используется в области усовершенствованной упаковки интегральных схем, включая усовершенствованные формы упаковки, такие как Flip Chip, Fan-In, Fan-Out WLP / PLP и 2.5D / 3D, которые могут соответствовать требованиям к литографии на уровне пластин / плат, предъявляемым к таким процессам, как штамповка, RDL и TSV.

Технические характеристики

Превосходная защита от загрязнения

Полностью преломляющий проекционный объектив обеспечивает большое рабочее расстояние, а также закрытую линзу объектива и систему освещения, позволяющую избежать загрязнения оптического тракта, вызванного улетучиванием органических веществ, таких как фоторезист.

• Высокая технологическая адаптивность

Когда экспонируется толстая пленка, NA можно отрегулировать для получения большей глубины фокусировки, что поддерживает графическую экспозицию с высоким соотношением сторон. Он оснащен уникальной системой подачи пластин, вертикальной системой обработки заготовок с большим ходом, а также системой точной фокусировки и выравнивания, которая может поддерживать процессы экспонирования больших деформированных листов, листов для склеивания и толстых листов в процессе раскручивания. Он может быть оснащен функцией обратного выравнивания в инфракрасном или видимом свете, которая поддерживает обратное выравнивание, необходимое для таких процессов, как TSV и MEMS. Поддержите процесс экспонирования квадратной пластины размером 600 × 600 мм.

• Высокая точность

Литографические машины серии SSB500 обеспечивают различные конфигурации проекционных объективов и источников экспонирующего света с разрешением 0,8 ~ 2 мкм и высокой равномерностью ширины линий. Он оснащен высокоточной системой выравнивания MVS и проекционным объективом с низким уровнем искажений, который поддерживает графическую маркировку объектов и нанесение решеток, обеспечивая высокоточную гравировку.

• Высокая урожайность

Литографические машины серии SSB500 оснащены системой освещения с высокой освещенностью, системой высокоскоростной передачи данных, системой платформы высокоскоростного и высокоточного движения и большим полем обзора для достижения высокой производительности и значительного снижения затрат заказчика на владение.