Устройство для послойного отделения и укладки двумерных материалов CLST-1

Технические характеристики

Это устройство позволяет выполнять послойное отделение и укладку двумерных материалов в условиях сверхвысокого вакуума. Включает сверхвысоковакуумный корпус, четырёхосевую станцию для размещения образцов, станцию укладки, станцию отделения (с датчиком давления), отражательный микроскоп и установку RHEED.

Обратный микроскоп:

• Специальный внутренний вогнутый фланец обеспечивает лучшую фокусировку объектива на поверхности образца;
• Гибкий механизм изменения увеличения: возможен ручной или электрический зум;
• Открытая система визуализации поддерживает свободную интеграцию модулей автофокуса, DIC, поляризации, спектрального анализа и других, позволяя создавать полностью автоматизированные системы машинного зрения.

Корпус и стойка для сверхвысокого вакуума:

• Корпус выполнен по стандартам сверхвысокого вакуума из нержавеющей стали SS316;
• Фланец соответствует стандартам сверхвысокого вакуума;
• Стандартный держатель образцов может быть интегрирован в образцедержатель;
• Фиксирующая опорная структура обеспечивает устойчивость и минимальные колебания после позиционирования оборудования.

Дифрактометр по отражению высокоэнергетических электронов:

• Состоит из источника высокоэнергетических электронов и флуоресцентного экрана (установленного напротив окна);
• Отражает структурную информацию поверхности образца;
• Используется для изучения роста кристаллов, адсорбции, дефектов поверхности и других процессов.

Четырёхосевая станция размещения образцов:

• Включает станцию размещения образцов, двухкоординатный позиционер, линейный привод и компактный дифференциальный вращатель;
• Может одновременно размещать 13 образцедержателей типа «флаг»;
• Верхняя позиция для образцов позволяет наблюдение микроскопом;
• Обеспечивает перемещения по осям X, Y, Z и углу θ.

Четырёхосевой держатель образцов с возможностью работы при высоких и низких температурах:

• Температурный диапазон: 110K–600K;
• Обеспечивает перемещения по осям X, Y, Z и углу θ;

Экран и микроскоп:

• Состоит из микроскопа, его стойки, призмы и светозащитного кожуха;
• Оптическая схема с отражением под 90°;
• Компактная конструкция.

Манипулятор:

• Обеспечивает перенос образцедержателей между станциями размещения.

Станция отделения:

• Включает станцию отделения, компактный дифференциальный вращатель и треугольный выравнивающий механизм;
• Треугольный механизм позволяет контролировать горизонтальность одинокристаллического материала на станции отделения;
• Связана с верхней станцией укладки медным плетёным проводником для теплоотвода;
• В станции отделения встроен датчик давления.