Машина для нанесения покрытия вертикальным ионным напылением IBSV-1030U

Технические характеристики

• Вертикальное расположение подложки, горизонтальный мониторинг;
• Вращение мишени можно регулировать влево и вправо для обеспечения оптимального расстояния между центром мишени и источником ионов;
• Размер подложки: 12" x 1";
• Материал мишени: две или три сменные мишени;
• Многоканальный оптический мониторинг.
• Зажим заготовки: 12 дюймов

Параметры процесса:

 Вакуумная система

• Предельный вакуум: 4,0 × 10-5 Па
• Время достижения 10 Па: ≤ 10 минут
• Скорость утечки: 3,0 × 10-5 Па м³/с

Точность управления

• Вращение мишени: 0,005°
• Вращение заготовки: <1000 об/мин
• Энкодер: 12 000 линий

480 000 отсчётов/об

• Пластина коррекции толщины плёнки: 0,005°
• Затвор: позиционный переключатель

Оптическая система контроля (OMS)

• Диапазон длин волн: от 380 до 1650 нм
• Стабильность источника света: белый свет < 0,1%, лазер < 0,02%
• Разрешение по длине волны: Белый свет: 0,2 нм, лазер: 0,1 нм
• Точность длины волны: Белый свет: 0,2 нм, лазер: 0,1 нм