Устройство сухого травления PERI-ICP

Травильный материал

Травление металлов и диэлектрических материалов

Размер подложки

Макс. 8 дюймов

Выход продукта

1 (одна) пластина/запуск

Тип впрыска топлива (газа)

Тип насадки для душа

Патронный узел

Охлаждение подложки с помощью чиллера
Охлаждение обратной стороны подложки
Механическое крепление пластины с помощью зажима

Источник питания

Смещение: максимальная мощность радиочастотного сигнала 2 кВт при частоте 13,56 МГц
Источник ICP: максимальная мощность радиочастотного сигнала 3 кВт при частоте 13,56 МГц

Предельное давление

< 5,0E-6 Торр (TMP и сухой насос)

Контроль давления

Маятниковый клапан, баратрон

Камера блокировки нагрузки

Предельное давление: < 5,0E-3Torr (Сухой насос или роторный насос)

Доставка газа

SF6, CHF3, CF4, C4F8, BCl3, Cl2O2, Ar, He

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Опция

Электростатический патрон, фиксатор кассетного типа

Размер системы (Ш*Д*В)

2050 мм x 800 мм x 1600 мм

Модель

Стоимость, доллары США

Устройство сухого травления PERI-ICP

 По запросу