Устройство сухого травления PERI-L

Применение

Травление металлов и диэлектрических материалов

Травильный материал

SiO2, Si3N4, Si, Al, GaN, HfO2, Al2O3, графен

Размер подложки

Кусок ~ 12 дюймов

Выход продукта

15 пластин на партию

Тип впрыска топлива (газа)

Душевая лейка с двойным рисунком

Источник питания

Максимальная ВЧ-мощность: 2 кВт при 13,56 МГц (с ВЧ-согласующей сетью)

Предельное давление

< 5,0E-3 Торр

Контроль давления

Автоматический контроль давления (дроссельный клапан, манометр)

Камера блокировки нагрузки

Предельное давление: < 5,0E-3Torr (Сухой насос или роторный насос)

Доставка газа

SF6, CHF3, CF4, C4F8, BCl3, Cl2O2, Ar, He

Вакуумный насос

Сухой насос или роторный насос

Контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Опция

TMP, камера Loadlock

Модель

Стоимость, доллары США

Устройство сухого травления PERI-L

 По запросу