Оборудование для литографии наноимпринтов на светодиодной графической сапфировой подложке

Оборудование имеет модульную конструкцию и включает в себя блок воспроизведения рабочей формы и блок для производства литографии наноимпринтов. Копировальный блок рабочей формы поддерживает автоматическое копирование гибких рабочих форм с поверхности мастер-форм уровня пластины. Рабочие формы обладают характеристиками высокой точности и длительного срока службы, что позволяет значительно снизить затраты на использование форм при массовом производстве нанотиснения большой площади.

Технические характеристики

• Полностью автоматическая линия для производства наноимпринтов на сапфировой подложке со светодиодной графикой массового производства (PSS/NPSS);
• Специально оптимизированный процесс наноимпринтинга для крупномасштабного производства;
• Полностью автоматическое копирование гибких рабочих форм, автоматическая замена и автоматическая передача, снижающие стоимость форм для нано-тиснения большой площади;
• Встроенные функции точного автоматического дозирования и отжима покрытия для копирования пресс-форм;
• Рабочая форма может быть автоматически заменена в соответствии с установленной частотой использования;
• 8 кассет сконструированы с перегородками и надежно сблокированы. Кассеты могут быть заменены в рабочем состоянии для увеличения производственных мощностей;
• Стандартный источник поверхностного ультрафиолетового света на светодиодах высокой мощности (365 нм, интенсивность света 1000 МВт/см², дополнительный источник света 1000 МВт/см²), срок службы более 30 000 часов, водяное охлаждение;
• Автоматическое предварительное выравнивание пластин, автоматическое тиснение, автоматическое отверждение под воздействием, автоматическое высвобождение формы - весь производственный процесс осуществляется в закрытом и чистом помещении;
• Занимает небольшую площадь и обладает высокой производственной мощностью. Производительность может достигать 240 штук в час для 4 дюймов и 200 штук в час для 6 дюймов.

Технические параметры