Используется для очистки после химико-механического шлифования (CMP) в процессе изготовления высококачественных подложек.
Технические характеристики
- Можно настроить четыре порта загрузки;
- Небольшая занимаемая площадь;
- Можно сконфигурировать четыре или шесть камер, а именно две мягкие щетки и две чистящие камеры или две мягкие щетки и четыре чистящие камеры;
- Может достигать менее 15 оставшихся частиц размером менее 37 нм или 20-25 оставшихся частиц размером менее 28 нм;
- Максимальная производственная мощность может достигать 60 вафель в час.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Ultra C WPN DIDO |
По запросу |
JoomShopping Download & Support