Обеспечивает несколько резервуаров для химической жидкости или чистой воды в сочетании с горячим погружением, распылением, переливом, быстрой промывкой и другими методами очистки в сочетании с передовыми методами сушки IPA, его можно использовать одновременно. Технологическая обработка 25 или 50 пластин может широко использоваться в области производства интегральных схем.
Технические характеристики
- Малый размер, высокая производственная мощность;
- Усовершенствованный метод сушки IPA;
- Периодическая обработка 50 пластин без кассеты;
- Экономия энергии и сокращение выбросов, снижение затрат;
- Оснащен усовершенствованным сушильным баком IPA;
- Оснащен стабильной системой подачи пластин;
- Модульная конструкция, настраиваемые варианты комбинирования;
- Дополнительный встроенный модуль очистки;
- Дополнительная мега звуковая очистка.
Технические параметры
|
№ |
Применение |
Описание |
Химический состав |
|
1 |
Предварительная чистка |
Используется в процессе предварительной очистки труб печи |
DHF+SPM+SC1+SC2+IPA сухой |
|
2 |
Очистка RCA |
Используется в процессе RCA |
DHF+SPM+SC1+SC2+IPA сухой |
|
3 |
Мокрое обезжиривание |
Используется для удаления фоторезиста |
DHF+SPM+SC1+IPA сухой |
|
4 |
Мокрое травление оксида |
Используется в процессе удаления оксидов |
HF или BOE+SC1+IPA сухой |
|
6 |
Первый полиоксидный слой |
В процессе восстановления контрольной пленки различные металлические или неметаллические пленки оставляются и удаляются |
DHF+H3P04+SC1+IPAdry |
|
7 |
Удаление металлической пленки в задней части |
HF/HNO3+HF+SC1+SC2+IPA сухой |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Ultra C wb |
По запросу |
JoomShopping Download & Support