Оборудование для влажной химической обработки

Категория: IC.

Технические характеристики

Влажное оборудование серии SFQ/SFQZ широко используется в интегральных схемах, оптоэлектронных устройствах, МЭМС и дискретных устройствах, обработке полупроводниковых материалов, солнечной фотоэлектрической энергии и других областях.

Он используется для процессов влажной химической обработки в процессе производства различных полупроводниковых подложек и подобных материалов. Он имеет три конфигурации: ручную, полуавтоматическую и полностью автоматическую.

Основные параметры.

Шесть фирменных технологий:

• Технология интеграции системы оборудования для влажной уборки.
• Технология передачи температуры и точного контроля.
• Газожидкостная автоматическая трансмиссия и технология управления
• Автоматическая передача стружки и технология автоматического управления.
• Технологии защиты материалов и химической технологии.
• Технология контроля однородности поля потока раствора

Ключевая особенность.

• Структура системы: компактный дизайн, чистый, антикоррозионный, безопасный, различные стили стоек на выбор.
• Метод управления: используйте высокопроизводительный ПЛК или промышленный компьютер для обеспечения централизованного управления в сочетании с управлением функциями агрегата для упрощения операций.
• Конфигурация резервуара: Материалы: НПП, ПВДФ, ПТФЭ, кварц, ПВХ, нержавеющая сталь и другие материалы.
• Функции: постоянный контроль температуры (нагрев/охлаждение), циркуляция, фильтрация, автоматическая регидратация, встряхивание, вращение, ультразвуковой/мегазвуковой режим, перелив, быстрая разгрузка, барботирование, сушка и т.д.
• Индивидуальный дизайн: Обеспечьте конфигурацию процесса и техническую поддержку в соответствии с требованиями пользователя.