Кристаллическая солнечная SI батарея SOLARK

Конфигурация

Погрузочный стол — Погрузочная камера — Технологическая камера
— Разгрузочная камера — Разгрузочный стол

Емкость лотка

9 пластин размером 156 мм × 156 мм

Грузовая камера

Блок предварительного нагрева ИК-лампы, 350 ℃

Технологическая камера

Насадка для душа типа PE
Нагревательный элемент, макс. 400 ℃

Разгрузочная камера

Холодильный агрегат

Транспортная единица

Двигатель

Мощность источника плазмы

3 кВт, 13,56 МГц (радиочастотная)

Вакуумный насос

Насосная камера — 500 м3/ч Бустер + 80 м3/ч роторный насос
Технологическая камера — 600 м3/ч Бустер + 80 м3/ч сухой насос
Разгрузочная камера — 500 м3/ч Бустер + 80 м3/ч роторный насос

Технологический газ

SiH4, NH3, газообразный N2 для процесса
Газообразный N2 для продувки

Системный контроль

Автоматическое управление технологическим процессом с помощью ПК

Модель

Стоимость, доллары США

Кристаллическая солнечная SI батарея SOLARK

 По запросу