Кристаллическая солнечная SI батарея SOLDOP

Каркасная конструкция

1 стопка, 1 тюбик

Размер подложки

Пластина размером 156 мм × 156 мм

Технологическая трубка

Кварцевый реактор шарового типа

Загрузочная станция

Автоматическая загрузка/выгрузка с помощью направляющей LM (тип «мягкая посадка»)
Максимальная загрузка — 400 пластин (включая пластины-имитаторы)

Печной нагреватель

Макс. 1200 ℃ (на поверхности нагревателя)
6-зонный контроль температуры

Технологический газ

N2, O2 — газ для процесса
Газ N2 — исходный носитель
Газ N2 — для продувки

Источник

Кварцевая колба объёмом 500 мл для подачи POCl3

Системный контроль

Автоматическое управление технологическим процессом с помощью ПК

Модель

Стоимость, доллары США

Кристаллическая солнечная SI батарея SOLDOP

 По запросу