P15 - это быстрое, высокоточное устройство сканирования и
нанопозиционирования. С очень высокой прямолинейностью. Диафрагма
составляет 66×66 мм, что идеально подходит для работ, связанных с передачей
света (таких как сканирование в ближнем поле, конфокальная микроскопия и т.д.).
P15 имеет смещение 300 мкм и оптимизированную для внутреннего анализа
методом конечных элементов (FEA) конструкцию из проволочных шарниров.
Благодаря FEA конструкция имеет максимально возможную жесткость и
минимизирует линейное и угловое столкновение.
Характеристики
Сканирующий микроскоп, Интерферометрия,
Метрология, Биотехнологии, Микроманипуляция, и
т.д.
Датчик закрытого контура
P15 доступен вариант с закрытым контуром.
Оборудован датчиком обратной связи, который
обеспечивает более высокую точность
позиционирования и идеально подходит для
высокоточных систем позиционирования.
Технические характеристики
Примечание: Максимальное напряжение управления может быть
-20V~150V. Рекомендуемое напряжение 0~120V для долгосрочной и
надежной работы. Технические данные измерены пьезоконтроллером
Чертежи
нанопозиционирования. С очень высокой прямолинейностью. Диафрагма
составляет 66×66 мм, что идеально подходит для работ, связанных с передачей
света (таких как сканирование в ближнем поле, конфокальная микроскопия и т.д.).
P15 имеет смещение 300 мкм и оптимизированную для внутреннего анализа
методом конечных элементов (FEA) конструкцию из проволочных шарниров.
Благодаря FEA конструкция имеет максимально возможную жесткость и
минимизирует линейное и угловое столкновение.
Характеристики
- 3 оси, ход до 300μm/ось
- Гибкая направляющая система высокой точности, без трения
- Доступен датчик закрытого контура
- Высокая плоскостность сканирования
- Диафрагма 66×66mm
- Доступна UHV версия
Сканирующий микроскоп, Интерферометрия,
Метрология, Биотехнологии, Микроманипуляция, и
т.д.
Датчик закрытого контура
P15 доступен вариант с закрытым контуром.
Оборудован датчиком обратной связи, который
обеспечивает более высокую точность
позиционирования и идеально подходит для
высокоточных систем позиционирования.
Технические характеристики
| Тип S-Закр. контур K-Откр. контур |
P15.XYZ100S P15.XYZ100K |
P15.XYZ300S P15.XYZ300K |
Ед. изм |
|---|---|---|---|
| Активные оси | X, Y, Z | X, Y, Z | - |
| Диапазон движения (0~120V) | 100/ось | 240/ось | μm±10% |
| Диапазон движения (0~150V) | 120/ось | 300/ось | μm±10% |
| Датчик | SGS/- | SGS/- | - |
| Диафрагма | 60×60 | 66×66 | mm |
| Разрешение (XY/Z) | 3.5/1 | 8/2.5 | nm |
| Линейность (XY/Z) | 0.2/- | 0.2/- | %F.S. |
| Воспроизводимость (XY/Z) | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. |
| Наклон/Откл-е/Вращение | 30 | <30 | μrad |
| Сила выталкивания/тяги | 100/20 | 50/10 | N |
| Жесткость | 0.8 | 0.1 | N/μm±20% |
| Резонанс. частота без нагрузки, X/Y/Z | 300/350/400 | 140/170/220 | Hz±20% |
| Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага | - | 60/10 | ms±20% |
| Степень нагрузки | 1 | 0.5 | kg |
| Эл. емкость (XY/Z) | XY7.2, Z14.4 | XY10.8, Z13.2 | μF±20% |
| Материал | Сталь, Алюминий | Алюминий | - |
| Масса | 700 | 830 | g±5% |
-20V~150V. Рекомендуемое напряжение 0~120V для долгосрочной и
надежной работы. Технические данные измерены пьезоконтроллером
Чертежи
JoomShopping Download & Support