Пьезостанок XD106.XYZ200K перемещается по оси
XYZ. Предназначен для применения в криогенной,
вакуумной и немагнитной среде. Оснащен Диафрагмой
диаметром 50 мм.
Характеристики
Применение
Кривая зависимости напряжения от перемещения
Технические характеристики
Примечание: Максимальное напряжение может быть
-20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для
долгосрочной и надежной работы. Технические данные
измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
XYZ. Предназначен для применения в криогенной,
вакуумной и немагнитной среде. Оснащен Диафрагмой
диаметром 50 мм.
Характеристики
- Низкотемпературная; Совместимая с вакуумом; Немагнитная
- С диафрагмой
- XYZ движение
- Управление движением в разомкнутом контуре
Применение
- Обработка полупроводников
- Высокоточное тестирование и эксплуатация
- Наноуправление движением, требующее вакуумных и немагнитнаых требований и т.д.
Кривая зависимости напряжения от перемещения
Технические характеристики
| Тип | XD106.XYZ200K | Ед. изм |
|---|---|---|
| Активные оси | X Y Z | |
| Номинальный ход (0~150V) | XY200, Z100 | μm±10% |
| Комнатная темп. Ход (0~150V) | XY80, Z50 | μm±10%, 100K температура |
| Разрешение | 2 | nm |
| Резонансная частота без нагрузки | X180/Y180/Z250 | Hz±20% |
| Резонансная частота @ 200g | X140/Y140/Z200 | Hz±20% |
| Эл. емкость | XY3.6, Z7.2 | μF±20% |
| Материал | Титан | |
| Степень нагрузки | 700 | g |
| Масса | 1360 | g±5% |
Примечание: Максимальное напряжение может быть
-20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для
долгосрочной и надежной работы. Технические данные
измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
JoomShopping Download & Support