P15.XY/XYZ-C Пьезосканер нанопозиционирования с
перемещением от 2 до 3 осей с большим ходом,
диафрагмой. Отлично подходит для решения обычных
рабочих задач.
Характеристики
Примечание: Выше приведены результаты измерений с использованием пьезоконтроллеров E00/E01. Максимальное
управляющее напряжение может составлять -20V~150V; рекомендуемое напряжение 0~120V для высокой надежности и
длительного использования.
Чертежи
перемещением от 2 до 3 осей с большим ходом,
диафрагмой. Отлично подходит для решения обычных
рабочих задач.
Характеристики
- Многоосевое движение
- Большой диапазон движения
- С диафрагмой
- Высокая степень нагрузки
- 3D нано сканирование
- Микроскопические изображения
- 3D выравнивание линз
- 3D микро сборка
| Тип | P15.XY100S-C1 | P15.XY100K-C1 | P15.XYZ300S-C2 | P15.XYZ300K-C2 | Ед. изм |
|---|---|---|---|---|---|
| Активные оси | X, Y | X, Y | X, Y, Z | X, Y, Z | - |
| Управляющие каналы | 2 | 2 | 4 | 4 | - |
| Ход (0~120V) | 80/ось | 80/ось | 248/ось | 248/ось | μm±10% |
| Ход (0~150V) | 100/ось | 100/ось | 310/ось | 310/ось | μm±10% |
| Датчик | SGS | - | SGS | - | - |
| Диафрагма | 66×66 | 66×66 | 66×66 | 66×66 | mm |
| Размер | 150×150×30 | 150×150×30 | 150×150×35 | 150×150×35 | mm |
| Разрешение | 3.5 | 1 | 10 | 5 | nm |
| Линейность | 0.15 | - | 0.2 | - | %F.S. |
| Воспроизводимость замк. контура | 0.1 | - | 0.15 | - | %F.S. |
| Наклон/Отклонение/Вращение | <30 | <30 | <100 | <100 | μrad |
| Жесткость | 0.6 | 0.6 | 1 | 1 | N/μm±20% |
| Сила выталкивания/тяги | 60/10 | 60/10 | 200/10 | 200/10 | N |
| Резонансная частота без нагрузки (X/Y/Z) | 200 | 200 | 180/200/200 | 180/200/200 | Hz±20% |
| Резонансная частота при нагрузке (X/Y/Z) | 45(@6kg) | 45(@6kg) | 49/49/69(@5kg) | 49/49/69(@5kg) | Hz±20% |
| Степень нагрузки | Вверх 6/Перевернутый 6/Латерал. 0.5 | 5 | 5 | kg | |
| Эл. емкость | 10.8/ось | 10.8/ось | 21.6/21.6/43 | 21.6/21.6/43 | μF±20% |
| Материал | Алюминий | Алюминий | Сталь, Алюминий | Сталь, Алюминий | - |
| Масса (без кабеля) | <1.1 | <1.1 | - | - | kg±5% |
управляющее напряжение может составлять -20V~150V; рекомендуемое напряжение 0~120V для высокой надежности и
длительного использования.
Чертежи
JoomShopping Download & Support