P12 Пьезосканер нанопозиционирования (Усиленный привод)

P12 - это пьезосканирующее устройство с 1~3 осями.
Диаметр апертуры может быть выбран как 25 мм или 35 мм,
что подходит для таких сфер применения, как микроскопия.
Пьезосканер может реализовать одноосевое перемещение
на 300 μm. Интегрированная структура делает многомерное
движение не связанным с основным устройством и может
быть выбрана в различных спецификациях для
удовлетворения потребностей различных задач.


Характеристики

• Степень нагрузки до 0.8kg
• С Ø25 или Ø35 диафрагмой
• Опционально UHV совместимая со сверхвысоким напряжением
• XYZ ход до 100μm/оси
• Z ход до 300μm
• 1~3 оси движения
• Закрытый контур. (версия для высокой воспроизводимости)

Применение

• Сканирование помех
• Позиционирование пластин
• Конфокальная микроскопия
• Обработка и стабилизация изображений
• Измерения поверхности
• Оптический захват

1~3 - осевое сканирующее устройство

P12 представляет собой 1~3-осевое линейное
пьезосканирующее устройство, включая версии с движением
X, Z, XY, XZ, XYZ. Большое количество ряда моделей на
выбор с дополнительным диаметром диафрагмы 25 мм или
35 мм.

Время шага при нагрузке

На изображении показано время стабилизации при
закрытом контуре P12.X100S составляет около 20ms при
нагрузке 125g, 100% Ход.

Кривая зависимости частоты от нагрузки



Линейность


Кривая откр./закр. контур



Совместимые пьезоконтроллеры



Технические характеристики

Тип S-Закр. контур K-Откр. контур	P12.X100S P12.X100K	P12.Z100S P12.Z100K	P12.Z200S P12.Z200K	P12.Z300S P12.Z300K	P12.XY100S P12.XY100K	P12.XZ100S P12.XZ100K	P12.XYZ100S P12.XYZ100K	Ед. изм
Активные оси	X	Z	Z	Z	X, Y	X, Z	X, Y, Z
Диапазон движ.(0~120V)	80	80	160	240	80/ось	80/ось	80/ось	μm±10%
Диапазон движ.(0~150V)	100	100	200	300	100/ось	100/ось	100/ось	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
Диафрагма	Ø25/Ø35	Ø25/Ø35	Ø25/Ø35	Ø25/Ø35	Ø25/Ø35	Ø25/Ø35	Ø25/Ø35	mm
Разрешение	3/1	3/1	5.5/2	8/2.5	3/1	3/1	3/1	nm
Линейность	0.05/-	0.05/-	0.1/-	0.15/-	0.1/-	0.12/-	0.1/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.02/-	0.02/-	0.05/-	0.1/-	0.05/-	0.08/-	0.05/-	%F.S.
Наклон/Откл-е/Вращение	<10	<10	<15	<15	<10	<10	<15	μrad
Сила выталкивания/тяги	30/10	30/10	30/10	30/10	25/8	25/8	20/4	N
Жесткость	0.3	0.3	0.2	0.1	X0.25/Y0.3	0.25	X0.3/Y0.25/Z0.2	N/μm±20%
Резонанс. частота без нагрузки	230	220	150	100	X180/Y230	200	X230/Y180/Z150	Hz±20%
Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага	10/0.8	10/0.8	15/1.6	30/2.4	15/0.8	30/0.8	30/0.8	ms±20%
Закрытый контур. рабочая частота (-3dB)	-	-	-	-	50 (без нагруз.)	-	-	Hz±20%
Степень нагрузки	0.8	0.8	0.5	0.4	0.7	0.6	0.6	kg
Эл. емкость	1.8	1.8	3.6	5.4	1.8/ось	1.8/ось	1.8/ось	μF±20%
Материал	Сталь, Алюминий	Сталь, Алюминий	Сталь, Алюминий	Сталь, Алюминий	-	-	-
Масса	140	140	200	260	200	200	260	g±5%

Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для
долгосрочной и высоконадежной работы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.

Пример использования



Чертежи