XD611.Z300 Ступень пьезо нанопозиционирования
перемещается по оси Z. Ход составляет до 300 мкм.
Предназначен для применения в криовакуумной среде.
Характеристики
Применение
Технические характеристики
Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для долго-
срочной, высоконадежной работы и продления срока службы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
перемещается по оси Z. Ход составляет до 300 мкм.
Предназначен для применения в криовакуумной среде.
Характеристики
- Подходит для крио/вакуумной среды
- Закрытый контур. Версия для высокой точности
- Движение по Z
- Перемещение до 300μm
Применение
- Осмотр поверхности
- Микроскопическое изображение
- Вакуумное применение
- Обработка и испытания полупроводников
Технические характеристики
| Тип | XD611.Z300S | XD611.Z300K | Ед. изм |
|---|---|---|---|
| Активные оси | Z | Z | |
| Номинальный ход(0~120V) | 240 | 240 | μm±20% |
| Ход(0~150V) | 300 | 300 | μm±20% |
| Резонансная частота без нагрузки | 105 | 105 | Hz±20% |
| Резонансная частота при нагрузке | 30（@300g） | 30（@300g） | Hz±20% |
| Датчик | SGS | - | |
| Разрешение | 10 | 3 | nm |
| Линейность | 0.5 | - | %F.S. |
| Воспроизводимость | 0.15 | - | %F.S. |
| Эл. емкость | 5.4 | 5.4 | μF±20% |
| Степень нагрузки | 300 | 300 | g |
| Материал | Ti | Ti |
Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для долго-
срочной, высоконадежной работы и продления срока службы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
JoomShopping Download & Support