XD611.XYZ500 Ступень пьезо нанопозиционирования перемещается в XYZ.
Ход составляет до 500 мкм. Идеально подходит для нанопозиционирования по 3 осям.
Характеристики
Применение
Технические характеристики
Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для долгосрочной,
высоконадежной работы и продления срока службы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
Ход составляет до 500 мкм. Идеально подходит для нанопозиционирования по 3 осям.
Характеристики
- Опциональный датчик
- Большой диапазон перемещения
- Нанометровое разрешение
- XYZ движение
- Высокая точность
Применение
- Микроскопические изображения
- Полупроводниковая технология
- Нанопозиционирование
- Точное позиционирование
- Биотехнологии
- Микроманипуляция
Технические характеристики
| Тип | XD611.XYZ500S | XD611.XYZ500K | Ед. изм |
|---|---|---|---|
| Активные оси | X Y Z | X Y Z | |
| Номинальный ход(0~120V) | 400/ось | 400/ось | μm±20% |
| Ход(0~150V) | 500/ось | 500/ось | μm±20% |
| Датчик | SGS | - | |
| Замк./разомк. контур. | |||
| Разрешение | 18 | 7 | nm |
| Линейность | 0.1 | - | %F.S. |
| Воспроизводимость | 0.05 | - | %F.S. |
| Резонансная частота без нагрузки | X0.08/Y0.13/Z0.08 | X0.08/Y0.13/Z0.08 | kHz±20% |
| Степень нагрузки | 0.2 | 0.2 | kg |
| Эл. емкость | 14.4/ось | 14.4/ось | μF±20% |
| Масса | 850 | 850 | g±5% |
| Материал | Сталь, Алюм. | Сталь, Алюм. |
Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для долгосрочной,
высоконадежной работы и продления срока службы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.
Чертежи
JoomShopping Download & Support