P63 Ступень пьезо нанопозиционирования (Прямой привод)

P63 - мало объемная 1~3 осевая ступень пьезо нано-
позиционирования. Отличается сверхточностью и компактностью.
Размер версии XYZ составляет всего 30 × 30 × 42 мм (30 × 30 × 21 мм
для версии оси X). Легко интегрируется в любой сканирующий прибор.
Оборудование редназначено для АСМ, SPM, STM и других
микросканирующих наноопераций.

Характеристики

• 1~3 оси движения
• Быстрое время отклика
• Перемещение до 18μm/ось
• Макс степень нагрузки до 0.8kg

P63 Ступень пьезо нанопозиционирования версий X, Z,
XY, XZ, XYZ. Сверхмалый размер, легко интегрируется.


Кривая зависимости частоты от нагрузки



Стабильность смещения 150V



Применение

• Микроскопические изображения
• 3-осевая микротокарная обработка
• Нанопозиционирование
• AFM

Пример использования

P63.XYZ применяется для испытания силы резки на основе
SEM онлайн-этапа нанорезки.



Быстрый отклик, доступен датчик

Пьезостанок P63 представляет собой сверхточную систему
нанопозиционирования, предназначенную для АСМ, СЗМ,
СТМ и других условий, требующих микросканирования и
наноопераций. Он обладает сверхнизкой инерцией,
временем отклика до 0,3 мс, встроенным датчиком для
высокоточного сканирования.

Рекомендуемые контроллеры



Технические характеристики

Тип S-Закр. контур K-Откр. контур	P63.X7S P63.X7K	P63.Z7S P63.Z7K	P63.XY7S P63.XY7K	P63.XZ7S P63.XZ7K	P63.XYZ7S P63.XYZ7K	Ед. изм
Активные оси	X	Z	X, Y	X, Z	X, Y, Z
Диапазон движения (0~120V)	5.5	5.5	5.5/ось	5.5/ось	5.5/ось	μm±10%
Диапазон движения (0~150V)	6.8	6.8	6.8/ось	6.8/ось	6.8/ось	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
Замк./разомк. контур. Разр-е	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	0.2/0.1	nm
Закрытый контур. Линейность	0.4/-	0.4/-	0.4/-	0.4/-	0.4/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	0.2/-	%F.S.
Наклон/Отклонение/Вращение	<5	<5	<10	<10	<15	μrad
Сила выталкивания/тяги	10/2	12/2	8/2	9/2	7/2	N
Жесткость	1.5	2	X1.2/Y1.4	X1.2/Z1.5	X0.9/Y1/Z1.2	N/μm±20%
Резонансная частота без нагрузки	2	2.5	X1.3/Y1.9	X1.5/Z1.6	X0.9/Y0.95/Z1.2	kHz±20%
Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	1.5/0.3	ms±20%
Степень нагрузки	0.8	0.8	0.5	0.5	0.4	kg
Эл. емкость	0.8	0.8	0.8/ось	0.8/ось	0.8/ось	μF±20%
Материал	Алюминий	Алюминий	Алюминий	Алюминий	Алюминий
Масса	70	70	120	120	160	g±5%

Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для долгосрочной,
высоконадежной работы и продления срока службы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.

Чертежи


Технические характеристики

Тип S-Закр. контур K-Откр. контур	P63.X18S P63.X18K	P63.Z8S P63.Z8K	P63.XY18S P63.XY18K	P63.X18Z8S P63.X18Z8K	P63.XY18Z8S P63.XY18Z8K	Ед. изм
Активные оси	X	Z	X, Y	X, Z	X, Y, Z
Диапазон движения (0~120V)	16	6	16/ось	X16, Z6	XY16, Z6	μm±10%
Диапазон движения (0~150V)	18	8	18/ось	XY18, Z8	X18, Z8	μm±10%
Датчик	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-	SGS/-
Замк./разомк. контур. Разрешение	0.6/0.2	0.2/0.1	0.6/0.2	X0.6/0.2, Z0.2/0.1	XY0.6/0.2, Z0.2/0.1	nm
Закрытый контур. Линейность	0.3/-	1/-	0.3/-	X0.3, Z1/-	XY0.3, Z1/-	%F.S.
Воспроизводимость	0.25/-	0.25/-	0.25/-	0.25/-	0.25/-	%F.S.
Наклон/Отклонение/Вращение	≤15	≤15	≤15	≤15	≤15	μrad
Резонансная частота без нагрузки	2	1	2	X2/Z1	X2/Y2/Z1	kHz±20%
Закрытый/открытый контур без нагрузки. Время шага	8/0.5	8/0.5	8/0.5	8/0.5	8/0.5	ms±20%
Степень нагрузки	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	kg
Эл. емкость	1.8	0.8	1.8	X1.8, Z0.8	XY1.8, Z0.8	μF±20%
Рабочая температура	-20~80	-20~80	-20~80	-20~80	-20~80	°C
Материал	Алюминий	Алюминий	Алюминий	Алюминий	Алюминий
Масса	-	112	-	-	235	g±5%
Длина кабеля	1.5	1.5	1.5	1.5	1.5	m±10mm

Чертежи