Пьезо микрометры

Пьезо микрометр является элементом, пьезо каскада,
интегрированным в ручной микрометр. Ручной
микрометр имеет перемещение 13 мм. Пьезо каскад
имеет смещение 25 мкм или 100 мкм.
Точность микрометра находится в пределах диапазона
регулировки пьезо каскада, что обеспечивает точность и
удобство регулировки.

Составляющие


Характеристики

• X оси, 1~3 доступных осей
• Датчик на выбор
• Ручное микрометрическое перемещение до 13mm, разрешение до 10μm
• Пьезоперемещение до 25μm, 100μm либо 250μm, разрешение до 0.5nm

Два типа

Существует 2 типа пьезомикрометров, у P83 смещение
составляет 25 μm, а у P84 - 100 μm или 250 μm.



Дополнительная загрузочная платформа, вакуумная версия



1~3 Оси

После того как пьезо микрометр оснащается подвижной платформой, вы можете выбрать свободную комбинацию из 1 ~ 3 размеров.



Технические данные

Тип	S-Закрытый контур K-Открытый контур	P83.X25S P83.X25K	P84.X100S P84.X100K	P84.X250S P84.X250K	Единицы измерения
Активные оси		X	X	X
Диапазон движения		13mm+25μm	13mm+100μm	13mm+250μm
Материал		Сталь, Алюминий	Сталь, Алюминий	Сталь, Алюминий
Ручная регулировка - Микрометр
Диапазон движения		13	13	13	mm
Разрешение		10	10	10	μm
Режим движения		Пара резьбовых соединений	Пара резьбовых соединений	Пара резьбовых соединений
Чувствительность		<2	<2	<2	μm
Минимальное количество		10	10	10	μm/div
Шаг резьбы		0.5	0.5	0.5	mm/rev.
Диапазон движения	0~120 V	20	80	200	μm±20%
	0~150 V	25	100	250	μm±20%
Сенсор		SGS/-	SGS/-	SGS/-
Разрешение		1/0.5	3/1	7/2	nm, typ.
Линейность закрытого контура		0.2/-	0.1/-	0.1/-	%F.S.
Воспроизводимость		0.1/-	0.05/-	0.05/-	%F.S.
Мощность толкающего усилия		20	16	8	N
Жесткость		2	1	0.03	N/μm±20%
Резонансная частота без нагрузки		-	380	210	Hz±20%
Нагрузка ( Z оси )		500	500	200	g
Рабочая температура		-20~80	-20~80	-20~80	°C
Электрическая емкость		1.8	1.8	7.2	μF±20%
Кабель		1.5	1.5	1.5	m±10mm
Соединительный разъём		LEMO	LEMO	LEMO

Примечание: Максимальное напряжение управления может быть -20V~150V, рекомендуемое напряжение 0~120V для
долгосрочной и высоконадежной работы. Технические данные измерены пьезоконтроллером серии E00/E01.

Применение

• Оптическое центрирование
• Точное позиционирование фокусирующего объектива CDD-камеры
• Микрообработка/ высокоточное управление

Чертежи