Система PE-CVD

Система PE-CVD является одним из основных продуктов компании   Она получила высокую оценку за надежное качество, стабильную работу и разумную цену. У производителя есть достаточный запас продукции. Пожалуйста, ознакомьтесь с подробной информацией здесь. Для покупки, пожалуйста, свяжитесь с нами.

Технические характеристики

Технические характеристики процесса:

• Покрытие вокруг: <1 мм
• Однородность поли (80–150 нм): <4% (внутричип/межчип/межпартия)
• Типы формирования пленки: SiNx, SiONx, POLY.

Технические характеристики оборудования:

• Количество температурных зон: 6 температурных зон.
• Максимальная температура: 650℃.
• Однородность температуры: 300℃~650℃±1℃.
• Метод загрузки пластины: мягкая посадка лопастями.
• Материал технологической камеры: кварц.

Основные особенности:

• Емкость: 616~768 шт./трубка (двойная лодка)
• Количество трубок: 6 трубок.
• Контроль давления: метод управления APC.
• Системное управление: промышленный компьютер PLC и PC.
• Связь: Melsec, MES, ввод-вывод, SECS-II и т. д.
• Интеграция автоматизации: полностью автоматизированное решение для оптимизации клиентов и интеграции управления MES.

Преимущество:

• Быстрая сертификация процесса, позволяющая значительно улучшить производство.
• APC может хорошо контролировать давление в технологической трубе во время процесса.
• Увеличенное время безотказной работы и более низкие затраты, хорошая техническая поддержка и обслуживание, обеспечивающие долгосрочную стабильную эксплуатацию оборудования.