CY-O1200-50IS-PECVD - это сертифицированная CE разъемная однозонная трубчатая печь с кварцевой трубкой диаметром 60 мм, механическим вакуумным насосом, четырехканальной системой подачи газа и радиочастотным генератором 13,56 МГц.Она позволяет создавать максимальный вакуум до 10-2 торр и смешивать 1-4 типа газов для CVD или диффузии.Она широко используется для получения тонких пленок в лабораторных условиях
Технические параметры
|
Номер модели. |
CY-O1200-50IS-PECVD |
|
Радиочастотная частота |
Стабильность 13,56 МГц 0,005% |
|
Выходная мощность |
Мощность регулируется от 5 до 300 Вт со стабильностью ±1% |
|
Радиочастотный выходной порт |
50 Ом, N-образная, внутренняя |
|
Соответствие |
Автоматическая |
|
Дисплей |
Светодиодный цифровой датчик |
|
Предельная температура |
1200℃ |
|
Рабочая температура |
≤1100℃ |
|
Скорость нагрева |
0-20 ℃/мин |
|
Длина зоны нагрева |
200 мм, зона постоянной температуры: 80 мм |
|
Диаметр кварцевой трубки |
OD50* 1000 мм |
|
Точность измерения температуры |
± 1℃ |
|
Нагревательный элемент |
Сплав Fe-Cr-Al изготавливается Mo |
|
Термический пар |
ТИП K |
|
Способ охлаждения |
Двухслойная конструкция с вентиляторным охлаждением |
|
Контроль температуры |
программируемое ПИД-регулирование на 30 ступеней |
|
Материал камеры |
Глиноземное волокно |
|
Вакуумный насос |
Механический роторный вакуумный насос: 10-2Торр |
|
Способ охлаждения |
Воздушное охлаждение |
|
Соединительная труба |
сильфон из нержавеющей стали, ручной откидной клапан |
|
Газовый смеситель |
4-ходовой газовый смеситель |
|
Точность |
±2％F.S. |
|
Точность повторения |
±0,2% FS |
|
Линейная точность |
±1％F.S. |
|
Рабочее давление： |
-0,1 МПа ~ 0,15 МПа |
|
Линейка MFC1 |
0 ~ 100 см |
|
Линейка MFC2 |
0 ~ 200 см |
|
Линейка MFC3 |
0 ~ 200 см |
|
Линейка MFC4 |
0 ~ 500 см |
|
Рабочее напряжение |
220 В переменного тока, 50 Гц |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1200-50IS-PECVD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support