Печь для выращивания монокристаллического карбида кремния, серии PVT SCR950 для резистивного нагрева

Область применения: используется для производства монокристаллических подложек из карбида кремния размером 4-8 дюймов.

Описание продукта

• В оборудовании используется многоступенчатый электрический нагрев, который позволяет осуществлять динамическую регулировку градиента температуры в процессе роста кристаллов;
• Усовершенствованное планирование пути воздушного потока и технология защиты теплового поля могут уменьшить затухание теплового поля в процессе роста кристаллов, увеличить срок службы теплового поля и улучшить стабильность теплового поля;
• Печь оснащена системой визуализации интерфейса роста кристаллов для мониторинга состояния роста кристаллов в режиме реального времени для повышения эффективности роста кристаллов.