Область применения: используется для производства монокристаллических подложек из карбида кремния размером 4-8 дюймов.
Описание продукта
- Оборудование имеет модульную конструкцию, которая позволяет легко переключать размер роста кристаллов и метод охлаждения кварцевой камеры;
- Цельнометаллическая конструкция уплотнения позволяет снизить скорость утечек;
- Метод охлаждения с помощью вращающейся гидравлической системы повышает равномерность охлаждения;
- Высокоточный контроль температуры и давления, а также технология дистанционного мониторинга повышают автоматизацию оборудования.
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
JSSD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support