Технические характеристики
- Проверка кремниевых пластин внутри кварцевой лодочки при загрузке/разгрузке в процессах диффузии и окисления;
- Обнаружение отсутствующих, пустых или повреждённых пластин;
- Мониторинг состояния пластин в лодочке в реальном времени с мгновенной сигнализацией для автоматического или ручного вмешательства;
- Контроль выхода годных изделий на текущем этапе обработки;
- Предотвращение попадания брака в последующие производственные этапы (например, с корзинами для переноса), что повышает общую эффективность производственной линии.
Технические параметры
|
Совместимость и параметры материалов |
|
|
Поддерживаемые продукты |
Монокристаллические кремниевые пластины: PERC, HJT, TOPCon и др. |
|
Совместимые размеры |
Загрузка/разгрузка для процессов диффузии и окисления. Базовый размер: 182мм, совместимость с меньшими размерами без ограничений, поддержка до 230мм. Толщина пластин: 140 мкм. Стандартная корзина: 100 пластин. |
|
Функции контроля |
|
|
Объекты контроля |
Обнаружение: осколков в заполненной лодочке, отсутствующих пластин, осколков в пустых слотах, повреждений в верхних зажимах и др. |
|
Автоматический контроль |
AI-система для точного онлайн-обнаружения дефектов, классификация дефектов на основе анализа изображений в реальном времени. |
|
Статистика данных |
Визуализация данных для анализа, помощь в оптимизации технологического процесса. |
|
Производительность контроля |
|
|
Производительность |
12 000 шт./час (около 10 лодочек/час) |
|
Скорость контроля |
0.6 сек на одно сканирование (включая обработку изображения) |
|
Время безотказной работы |
99% |
|
Максимальная точность |
0.06 мм/пиксель |
|
Точность обнаружения |
Чувствительность: более 99% Пропуск дефектов: менее 0.5% Доля годных: более 95% |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
JuNeng 5300 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support