Сфера применения
Подходит для контроля склеивания 6, 8 и 12-дюймовых пластин
Технические характеристики
- Загрузочный порт может быть состыкован со стандартными кассетами и т.д.;
- Специальный робот для обработки пластин, обеспечивающий отбор проб, считывание штрих-кода и размещение образцов.;
- Быстрое обнаружение избыточного сканирования совместной пластины с четырьмя зондами;
- Калибровка пластины выравнивателя, определение краев;
- Высушите вафли и положите их обратно в емкость для оригинального продукта;
- Автоматическое объединение результатов сканирования, обработка изображений, отображение дефектов и запись данных;
- Оснащенный стандартным коммуникационным программным обеспечением для фабрик, он может использоваться совместно с другим производственным оборудованием.
Технические параметры
|
Размер оборудования |
2500мм(Д) × 2000мм(Ш) ×1300мм(В) |
|
Конфигурация зонда |
2 зонда, 4 зонда, сканирование разделов |
|
Разрешение изображения |
1-4000 мкм |
|
Полоса пропускания и приема ультразвука |
1-500мГц |
|
Режим сканирования |
Высокоточное сканирование, быстрое сканирование (чересстрочное разностное сканирование) |
|
Трехосная платформа |
Мраморная платформа |
|
Ось XY |
Линейный двигатель, портальный двойной привод |
|
Приспособление |
Транспортное средство, предназначенное для изготовления пластин |
|
Погрузка и разгрузка |
Полностью автоматизированный |
|
Чистота |
100 уровней |
|
Толщина склеиваемой пластины |
60-3000мкм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Полностью автоматический пластинчатый ультразвуковой сканирующий микроскоп |
По запросу |
JoomShopping Download & Support