Сфера применения
Проверка склеивания пластин диаметром 6, 8 и 12 дюймов
Технические характеристики
- В системе отсутствуют металлические загрязнения, а конструкция корпуса microenvironment (FFU) сконфигурирована.;
- Соответствует требованиям к чистоте класса 2 (уровень 100) процесса сканирования;
- Настройте механизм автоматического впуска воды в пластину;
- Левый и правый датчики сканируют одновременно, указывая на эффективность сканирования;
- Общий эффективный диапазон сканирования: 420 мм × 320 мм;
- Подложка для конкретных пластин может быть настроена в соответствии с размером пластины.
Технические параметры
|
Размеры |
1200мм (Д) × 1500мм (Ш) ×2000мм (В) |
|
Конфигурация зонда |
Двойные зонды, разделение труда при сканировании |
|
Разрешение изображения |
1-4000 мкм |
|
Полоса пропускания и приема ультразвука |
1-500мГц |
|
Режим сканирования |
Высокоточное сканирование, быстрое сканирование (чересстрочное разностное сканирование) |
|
Трехосная платформа |
Мраморная платформа |
|
Ось XY |
Линейный двигатель, портальный двойной привод |
|
Приспособление |
Транспортное средство, предназначенное для изготовления пластин |
|
Погрузка и разгрузка |
Полуавтоматический, наклонный вход в воду и выход из нее |
|
Чистота |
100 уровней |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Полуавтоматический пластинчатый ультразвуковой сканирующий микроскоп |
По запросу |
JoomShopping Download & Support