Оборудование для измерения толщины оптической пленки—WFM200/300

Основные характеристики

Проверка толщины вафельной пленки / Проверка толщины вафельной пленки

Размер пластины

150/200/300 мм

Функция калибровки

Да, тип адсорбции

Инспекционная группа

Японская технология + высокоточный мраморный стол XY

Диапазон толщины пленки

1 нм~ 35 мкм; 7 нм~ 49 мкм; 16 нм ~ 92 мкм

Диапазон длин волн

230 нм~ 800 нм; 360 нм ~ 1100 нм; 900 нм ~ 1600 нм

Выход

> 60 Вт /ч (в зависимости от структуры образца и количества точек контроля)

Чистота

Класс 1

Потребляемая мощность

Переменный ток 220 В, 50/60 Гц, 10А, однофазный (воздушная трубка диаметром 8 мм)

Сжатый воздух

0,6 ~ 0,8 Мпа; 90Л /мин (воздушная трубка 8 мм)

Вакуум

-80 ~-70 кПа; 25Л/мин (воздушная трубка 6 мм)

Вес

~500 кг

Модель

Стоимость, доллары США

WFM200/300

По запросу