Технические характеристики
- Уникальный оптический дизайн + интеллектуальный алгоритм;
- Бесконтактное измерение;
- Высокоточная противоударная платформа;
- Поддержка нескольких протоколов связи SECS / Gem и т.д.；
Технические параметры
|
Основные приложения |
В основном измеряют диаметр и морфологию пластин |
|
Размер пластины |
300 мм |
|
Конечный эффектор |
Вакуумная адсорбция/зажим кромки, обрезка кромки |
|
Режимы проверки |
Бесконтактное измерение насечки/плоскости пластины, скоса, кромки, диаметра и т.д. |
|
Тип кассеты |
Открытая кассета или FOUP / FOSB |
|
Загрузочный порт |
2 пк, могут быть подключены к E84 (опции) |
|
Функция калибровки (Выравниватель) |
Опционально |
|
Чистота |
Класс 1 |
|
Потребляемая мощность |
Переменный ток 220 В, 50/60 Гц, 25А, однофазный (воздушная трубка диаметром￠8 мм) |
|
Сжатый воздух/Сухой воздух |
0,4 ~ 0,6 Мпа; 90Л /мин (воздушная трубка￠8 мм) |
|
Вакуум |
-80 ~-70 кПа (мин); 25Л / мин (воздушная трубка￠8 мм) |
|
Вес |
~700 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
LEP300 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support